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白光干预仪


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产物称号: 白光干预仪
产物型号: FRT WLI
产物展商: 德国FRT公司
复杂引见
白光干预仪接纳白光干预丈量传感器,其垂直辨别率可达0.1nm细致技能参数:丈量原理:白光干预丈量;丈量物镜10X 20X 50X垂直丈量范畴:100um(400um可选)垂直辨别率 0.1nm;X,Y丈量范畴:1.6X1.2mm 0.8X0.6mm 0.32X0.24mm;任务间隔:3.6mm 3.6mm 1.7mm侧向辨别率2.5um 1.25um 0.5um 白光干预仪

白光干预仪

的细致引见

 白光干预仪

白光干预仪

细致技能参数:

丈量原理                                                   白光干预丈量

丈量物镜                       10X                        20X                        50X

垂直丈量范畴:                                 100um(400um可选)

垂直辨别率                                                 0.1nm

X,Y丈量范畴:         1.6X1.2mm          0.8X0.6mm           0.32X0.24mm

任务间隔:                  3.6mm                   3.6mm                   1.7mm

侧向辨别率                    2.5um                 1.25um                     0.5um
白光干预仪

 

 

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